Gas Cabinet System แบบ Explosion proof

     Gas Cabinet System แบบ Explosion proof การเดินระบบท่อรูปแบบนี้เหมาะสำหรับแก๊สไวไฟหรือแก๊สอันตราย เช่น แก๊ส silane SiH4 เนื่องจากอุปกรณ์ที่ใช้ในการเดินระบบท่อเป็นแบบที่สามารถกันการระเบิด(Explosion proof)ได้ และอุปกรณ์ที่เมื่อเกิดการระเบิดขึ้นจะไม่ทำให้เกิดสะเก็ดหรือประกายไฟ ซึ่งเป็นสาเหตุของการเกิดเพลิงไหม้